该聚焦离子束是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。它是吉林兴宇PCB抄板中心反向研发的,它采用六硼化镧灯丝,可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体,应用范围广泛。
技术参数
分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 2.5nm, 30kV (LaB6)
样品台: X/Y 76 mm, Z 5 to 48 mm
T -10 to 90度
R 360 度
标准: LV 模式, BEI,
气体输入系统 x1
主要特点
1.监控、切割、组装和三维图像重构连续操作
2大束流,最大30nA
3.提供空前稳定的图像
4.低真空功能适用于非导体样品
5.气体注入系统用于刻蚀和沉积
6.最大装样 150 mm
7.气锁式样品交换
8.五轴全对中样品台
9.多个样品分析接口
吉林兴宇在PCB抄板及IC芯片解密等反向技术研发领域可以说是当之无愧的行业老大,几十年的上万的成功案例,让业界同仁赞叹不已。而在公司信誉方面,我们更是受到广大客户的一致好评。